真空检漏仪由高压变压器和高频振荡发射器组成，利用高频电火花检测玻璃真空器件和玻璃系统的真空程度。对真空检漏仪进行维护是必不可少的，其中的工作内容有：

　　1、定期校准、测试和检验检测器。

　　2、保留所有校准、维护和告警事件的操作记录。

　　3、不能将检测探头长期放置于高浓度示踪气体中。

　　4、用柔软的湿布清洁检漏仪外表，请勿使用溶剂、肥皂或是抛光剂。

　　5、清洁传感器滤网：摘下滤网，使用洁净柔软的刷子和洁净的温水进行清洁。滤网重新罩上之前应处于干燥状态。

　　6、仪器不需要使用的时候应该把仪器檫干净并用防尘膜保护好。

　　为确保真空检漏仪能及时准确的进行检测，以上的维护保养工作是必不可少的。